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  • 產品名稱: 潔凈室化學解決方案
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作用介紹

    隨著技術的不斷發展,除了固體顆粒污染物外,化學氣體(AMC)對微電子潔凈室的影響越來越大。在晶圓、LCD、OLED等各個生產領域,化學氣AMC已經成為生產中的影響因素,(AMC)污染易造成半導體層間結合失效、HEPA降解摻雜物的進入、高接觸電阻、T-Topping現象、光學鏡頭霧狀缺陷,以及玻璃表面污染等問題。因此AMC的控制要求也提高到了ppt的級別。
    U-AIR為改善潔凈室內AMC化學氣體污染,提出了“監控檢測”、“現場治理”、“持續提高”的綜合解決辦法。產品與服務相配套,保障潔凈室內空氣質量。
 
    ●延長維護周期
    ●強化制程控制、提升良率
    ●優化生產控制
    ●增強產品的可靠性和壽命
    ●提高電子和機械可能性
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